Macro Defect Inspection 반도체 결함 검출 시스템 Macro Defect Inspection 반도체 결함 검출 시스템

웨이퍼 미세 결함 감지

TZTEK은 오랜 경험을 바탕으로 규칙 또는 불규칙 결함 식별, 고차 패턴 인식, 개체 분석, 개체 모델링 및 개체 필터링 등 고객에게 맞춤형 소프트웨어 및 하드웨어 솔루션을 제공할 수 있습니다.

TZTEK의 SDI알고리즘은 Wafer-to-Wafer 원리에 따라 웨이퍼의 변화를 감지하는 것 뿐만 아니라 Die-to-Die가 감지하는 방식을 지원함으로써 Die에 대한 정보가 동기화되어 분석 됩니다. Die-to-Die 감지 방법은 Die 크기 제한 없이 웨이퍼 전체 크기까지도 지원할 수 있습니다.

필터를 통해 결함 크기, 결함 영역, 결함 형태, 칩 또는 기판 내의 결함 위치 등을 정의 하여 결함을 분류할 수 있습니다.

Example for freely definable filters for defect classification
Result map of wafer inspection with classified
The corresponding defect list
Result map of an infrared inspection of sealed defects wafer
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